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是用來對各種氣體的質量流量進行進行精密測量與控制的一種儀器，他大量用于電子工藝設備中，如擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等行業。
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